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在半導體制造過程中，靜電是一個需要嚴格控制的因素，因為即使是微小的靜電放電也可能損壞敏感的電子元件或?qū)е聣m埃粒子吸附在晶圓表面，從而影響產(chǎn)品的成品率和可靠性。
在整個半導體制造過程中都會產(chǎn)生靜電荷，主要由不同材料的接觸和分離引起。靜電荷通過三種方式影響生產(chǎn)率和良率，靜電荷會靜電吸引（ESA）空氣中的顆粒，從而導致晶圓和光罩的潛在良率損失。
日本SIMCO思美高產(chǎn)品在半導體領(lǐng)域的應用主要集中在靜電控制和除靜電設(shè)備方面，以減少生產(chǎn)中的靜電和微粒對半導體制造過程的影響。SIMCO思美高的靜電控制和除靜電設(shè)備、離子棒和離子風機等設(shè)備通過電暈放電產(chǎn)生正負離子，中和空氣和工作表面的靜電荷，從而減少靜電吸附和放電對半導體制造過程的影響。
靜電測試儀
FMX-004 靜電測試儀
FMX-004靜電測試儀是一款緊湊型靜靜電測試儀，用于定位和測量靜電荷，其袖珍尺寸和三鍵操作使其使用方便快捷。
特點：
輕巧、緊湊的設(shè)計
測距燈確保測量準確且可重復
自動量程切換可達 ±30 kV (30,000V)，距離為 1"
帶有 +/- 指示器的數(shù)字和條形圖顯示
不活動時自動關(guān)機
FMX-004還提供用于模擬輸出的可選電纜和支架套件，此功能允許在使用過程中可提取和監(jiān)控數(shù)據(jù)。模擬輸出支架可安裝現(xiàn)場儀表，以便連續(xù)采集讀數(shù)。模擬信號可與 PLC、數(shù)據(jù)采集卡、數(shù)據(jù)記錄器、圖表讀取器等設(shè)備配合使用。
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