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【SIMCO思美高】適用于半導(dǎo)體前后端處理的ESD靜電控制解決方案
工業(yè)知識(shí)堂
電動(dòng)螺絲刀，別名電批、電動(dòng)起子，是用于擰緊和旋松螺釘用的電動(dòng)工具。該電動(dòng)工具裝有調(diào)節(jié)和限制扭矩的機(jī)構(gòu)，主要用于裝配線，是大部分生產(chǎn)企業(yè)的工具之一。
在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，靜電是一個(gè)需要嚴(yán)格控制的因素，因?yàn)榧词故俏⑿〉撵o電放電也可能損壞敏感的電子元件或?qū)е聣m埃粒子吸附在晶圓表面，從而影響產(chǎn)品的成品率和可靠性。
在整個(gè)半導(dǎo)體制造過(guò)程中都會(huì)產(chǎn)生靜電荷，主要由不同材料的接觸和分離引起。靜電荷通過(guò)三種方式影響生產(chǎn)率和良率，靜電荷會(huì)靜電吸引（ESA）空氣中的顆粒，從而導(dǎo)致晶圓和光罩的潛在良率損失。
日本SIMCO思美高產(chǎn)品在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用主要集中在靜電控制和除靜電設(shè)備方面，以減少生產(chǎn)中的靜電和微粒對(duì)半導(dǎo)體制造過(guò)程的影響。SIMCO思美高的靜電控制和除靜電設(shè)備、離子棒和離子風(fēng)機(jī)等設(shè)備通過(guò)電暈放電產(chǎn)生正負(fù)離子，中和空氣和工作表面的靜電荷，從而減少靜電吸附和放電對(duì)半導(dǎo)體制造過(guò)程的影響。
產(chǎn)品介紹
離子風(fēng)機(jī)
Aerostat XC2靜電除塵風(fēng)機(jī)
提供全面的大面積電離保護(hù)，其設(shè)計(jì)和制造旨在實(shí)現(xiàn)可靠、長(zhǎng)期的靜電控制。其輕量化設(shè)計(jì)使 Aerostat XC2可以安裝在工作臺(tái)面上方，這對(duì)于平板顯示器模塊組裝尤為有效。
特點(diǎn)：
輕量化設(shè)計(jì)
大面積、近乎對(duì)稱的電離區(qū)域覆蓋
±10V自平衡(“微脈沖")技術(shù)
易于使用的內(nèi)置發(fā)射器清潔器
集成加熱器，用于暖空氣流動(dòng)
Aerostat PC2臺(tái)式離子風(fēng)機(jī)
Aerostat PC2臺(tái)式離子風(fēng)機(jī)內(nèi)置發(fā)射點(diǎn)清潔器，結(jié)構(gòu)緊湊輕巧，可為目標(biāo)微環(huán)境提供的電荷中和效果，并可輕松安裝在工藝工具內(nèi)部。其風(fēng)速足夠，可在臺(tái)式工作臺(tái)面上控制高達(dá)4 英尺(約 1.2 米)范圍內(nèi)的靜電。
特點(diǎn)：
1英尺放電時(shí)間小于2.0 秒
輕巧、緊湊、安靜，使用時(shí)不會(huì)引人注目
本地警報(bào) LED、設(shè)施監(jiān)控系統(tǒng)(FMS)連接和可選聲音警報(bào)
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